GC（Gas Cabinet，特气柜）和GR（Gas Rack，特气架）是特气输送系统中的核心设备，主要用于危险性气体（如易燃易爆、腐蚀性、毒性气体）的安全存储与供应。以下是两者的功能解析及区别：

1. GC特气柜

• 定义与功能
      GC专为高危险性气体设计，具备防爆、密封性强的特点，钢瓶内置柜内，通过PLC控制实现自动吹扫、切换及紧急切断功能

  。其核心作用包括：

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• 自动切换：双瓶或多瓶配置（如1Process/2Process/3Process），主气瓶耗尽时备用气瓶自动供气，确保连续性。

• 安全防护：内置压力传感器、气动阀，配合吹扫氮气（PN2）清除残留气体，防爆柜体防止泄漏扩散。

• 高纯度输送：适用于半导体、光伏等对气体纯度要求极高的场景。

• 分类

• 单钢瓶：实验室常用，成本低但需手动换瓶。

• 双钢瓶：量产场景，自动切换备用瓶，需注意吹扫氮气供应风险。

• 三钢瓶：安全性最高，备用瓶用于吹扫，避免交叉污染。

2. GR特气架

• 定义与功能
      GR用于惰性气体（如氮气、氩气）的存储，结构较GC简化，无自动吹扫功能，依赖人工换瓶。主要特点包括：

• 手动操作：钢瓶更换需人工完成，适合低危险性气体。

• 成本效益：减少电子传感器和复杂管路，适用于实验室或小规模供气。

3. GC与GR的核心区别

4. 应用场景

• 半导体行业：GC用于高纯度特气（如PH₃、SiH₄）的稳定供应，GR用于保护气体（如N₂）的分配。

• 光伏/液晶面板：GC确保工艺气体连续性，GR辅助惰性气体环境维护。

5. 安全配套措施

• 气体侦测：GC需配备GDS系统监测泄漏，GR通常仅需氧气浓度检测。

• 尾气处理：GC连接Local Scrubber处理吹扫废气，GR部分需处理氟化物尾气。

• 通风要求：GR通风量≥198m³/h，GC需强制排风防止气体聚集。

总结

    GC和GR通过差异化设计满足不同气体的安全需求，共同构成特气系统的核心。GC以高安全性适配高危场景，GR则以经济性服务惰性气体供应，两者协同保障生产安全与效率。